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[HT8921-0005-0001] 用于附有压敏粘合剂的部件的解脱膜 [摘要] 提供一种用于附有压敏粘合剂的部件上的解脱膜,在温度从常温至冬季低的大气温度范围内,附有压敏粘合剂的部件与解脱膜之间具有合适的粘性。提供一种涂于基质材料上的用于附有压敏粘合剂的部件上的解脱膜,其压敏粘合剂层的Tg值范围从-50℃至-20℃,厚度范围从3um至50$gm(m)。
[HT8921-0008-0002] 用于负化学增强型抗蚀剂的脱膜剂组合物 [摘要] 本发明涉及用于负化学增强型抗蚀剂的非水性脱膜剂组合物,其具有优异的脱除能力,对各种金属基底板材例如Al,W,TiN,WSi,SiON,SiNx,HTO等具有防腐作用,并且由于其作为非水性脱膜剂,即使经过多次使用还可重复利用,可提高生产率,该抗蚀剂适于在需要进行负化学增强型抗蚀剂脱除过程的高精度加工的电子材料领域使用。为实现上述目的,本发明提供了一种用于负化学增强型抗蚀剂的脱膜剂组合物,含有a)20-35重量%的直链烷基苯磺酸;b)10-34重量%的轻芳香石脑油溶剂;c)30-45重量%的含氯有机化合物;d)15-25重量%的羟基苯;和e)0.5-5重量%的聚氧乙烯辛基苯基醚衍生物。
[HT8921-0001-0003] 水溶性感光胶版膜去鬼影脱膜剂 |