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[HT8125-0121-0001] 利用超薄氧扩散阻挡层防止晶体管中的横向氧化的联合方法和装置 [摘要] 发明公开了一种防止横向氧化穿过对氧扩散高度可渗的诸如高k栅电介质的栅电介质的方法和装置。根据本发明的一个实施例,在衬底上形成栅极结构,该栅极结构具有氧可渗栅电介质。然后在该栅极结构的侧壁上形成氧扩散阻挡层,以防止氧横向扩散到氧可渗栅电介质中,这样防止了对该栅电介质下面的衬底或者对该栅电介质上面的导电栅电极的氧化。<
[HT8125-0077-0002] 强电介质膜的形成方法、强电介质存储器、强电介质存储器的制造方法、半导体装... [摘要] 一种强电介质膜的形成方法,对形成在基板(10)上的非晶质的氧化物膜(30)照射脉冲状的激光或灯光,形成氧化物的微结晶核(40)。然后,在含有微结晶核(40)的氧化物膜上形成光透过/吸收膜(22)。再从光透过/吸收膜(22)的上部照射脉冲状的激光或灯光,使氧化物结晶化,形成强电介质(50)。
[HT8125-0210-0003] 半导体器件及其制造方法 |