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半导体,半导体装置,半导体薄膜,半导体装类技术资料

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  [HT8125-0121-0001] 利用超薄氧扩散阻挡层防止晶体管中的横向氧化的联合方法和装置
[摘要] 发明公开了一种防止横向氧化穿过对氧扩散高度可渗的诸如高k栅电介质的栅电介质的方法和装置。根据本发明的一个实施例,在衬底上形成栅极结构,该栅极结构具有氧可渗栅电介质。然后在该栅极结构的侧壁上形成氧扩散阻挡层,以防止氧横向扩散到氧可渗栅电介质中,这样防止了对该栅电介质下面的衬底或者对该栅电介质上面的导电栅电极的氧化。<
  [HT8125-0077-0002] 强电介质膜的形成方法、强电介质存储器、强电介质存储器的制造方法、半导体装...
[摘要] 一种强电介质膜的形成方法,对形成在基板(10)上的非晶质的氧化物膜(30)照射脉冲状的激光或灯光,形成氧化物的微结晶核(40)。然后,在含有微结晶核(40)的氧化物膜上形成光透过/吸收膜(22)。再从光透过/吸收膜(22)的上部照射脉冲状的激光或灯光,使氧化物结晶化,形成强电介质(50)。
  [HT8125-0210-0003] 半导体器件及其制造方法

半导体器件包含底电极、顶电极和位于底电极和顶电极之间、由含有Pb、Zr、Ti和O的钙钛矿型铁电体制成的介电膜,介电膜包含由许多晶粒形成的第一部分,这些晶粒被具有许多方向的晶粒边界分隔开。
  [HT8125-0029-0004] 将氨用于刻蚀有机低K电介质
[摘要] 用于将氨NH3用作活性刻蚀剂来刻蚀有机低k电介质的方法。以类似的过程条件,使用氨的过程导致至少两倍于使用N2/H2化学的过程的对有机低k电介质的刻蚀速率。其差别是由于在过程化学中NH3比N2低的多的离子化势能,这导致在类似过程条件下的明显较高的等离子体密度和刻蚀剂浓度。
  [HT8125-0032-0005] 具有无凸块的叠片互连层的微电子组件
[摘要] 公开了一种微电子器件制造技术,可将至少一个微电子芯片设置在微电子组件芯部至少一个开口中,并用封装材料将微电子芯片组/单个片固定在开口中;还可无需微电子组件芯部将至少一个微电子芯片封装在封装材料中,或固定至少一个微电子芯片到散热器中至少一个开口内。然后电介质材料和导电迹线组成的叠片互连条连接微电子芯片组/单个片到封装材料、微电子组件芯部及散热器中至少一个上,形成微电子器件。
  [HT8125-0024-0006] 用于单离子注入的方法和系统
[摘要] 种用于单离子掺杂和处理的方法和系统检测衬底中的单离子的注入、穿透以及终止。这种检测对于将可数数量的31P离子成功地注入到用于构成凯恩量子计算机的半导体衬底内很必要。该方法和系统特别涉及衬底(20)的表面上两个电极(22,23)上的电位(24)的应用,以产生电场将衬底(20)内形成的电子空穴对分开并清除。然后使用检测器(30)检测电极中的瞬时电流,由此决定衬底(20)中单离子的到达。<
  [HT8125-0048-0007] 通过离子注入实现晶粒更加细小的钴硅化物工艺
[摘要] 本发明属集成电路制造工艺技术领域。为了能够在更先进的技术下满足结漏电的要求,需要对现有的钴硅化物工艺进行改进,方法之一是在CoSi或者CoSi2形成以后,通过离子注入的方法,将不同种类的离子,以中等剂量、较高能量注入到硅衬底中,通过打碎CoSi的晶粒以便于在随后的RTP中形成晶粒与普通工艺相比更加细小的CoSi2。通过这种方法,可以令钴硅化物可以在0.13μm以下的工艺中继续使用,并获得令人满意的性能。
  [HT8125-0042-0008] 一种改变氢化物气相横向外延GaN薄膜中倾斜角的方法
[摘要] 采用HVPE方法横向外延薄膜GaN过程中添加HCl改变并消除晶面倾斜角的技术和方法。在HVPE横向外延GaN过程中直接添加HCl至衬底表面,通过HCl对GaN的腐蚀作用等,使局域V/III比发生变化,从而改变倾斜角,改善薄膜的表面形貌和质量,直接添加至衬底的HCl流量为4-10sccm。与其他的方法相比,不会引入额外的杂质,这是该发明的一大技术特点。此外,将HCl引入生长区,改变了局域的反应平衡,也会改善GaN薄膜的表面形貌和质量。
  [HT8125-0011-0009] 薄膜晶体管及其制造方法和采用该薄膜晶体管的显示装置
[摘要] 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法和采用该薄膜晶体管的显示装置。该薄膜晶体管包括一有源层,其形成于一绝缘衬底上,且其中形成有沟道区、源极区和漏极区,其中一电压被施加到该沟道区上以释放在该沟道区中产生的热载流子。
  [HT8125-0045-0010] 半导体薄膜后处理系统及样品架
[摘要] 本发明名称为“半导体薄膜后处理系统及样品架”,属于半导体材料与器件的制备设备。其特征在于:将超声喷涂与退火两个过程分开进行,专用样品架在隧道炉中步进式前进,保证被退火工件在温度均匀的恒温区中停留,保护气体经加热后横向通过恒温区,不致造成温度波动。本发明主要用于大面积半导体薄膜制造过程中的连续热处理,能解决大面积上的温度均匀性与稳定性问题。
  [HT8125-0170-0011] 整合微机电装置及集成电路的制造流程的方法
  [HT8125-0005-0012] 固体摄像装置
  [HT8125-0002-0013] 非易失半导体存储器
  [HT8125-0074-0014] 导电导热的界面
  [HT8125-0091-0015] 集成电路制造技术中可消除光刻中光刻胶毒化的工艺
  [HT8125-0102-0016] 深亚微米CMOS源漏制造技术中的工艺集成方法

  [HT8125-0066-0017] 半导体晶片
  [HT8125-0169-0018] 有DP阱的BiMOS数模混合集成电路及其制造方法
  [HT8125-0014-0019] 发光二极管装置
  [HT8125-0200-0020] 基片保持装置和电镀设备
  [HT8125-0136-0021] 垂直双栅极场效应晶体管
  [HT8125-0148-0022] 腐蚀晶片的方法
  [HT8125-0157-0023] 半导体装置封装方法
  [HT8125-0026-0024] 具有孔和/或槽的化学机械抛光垫
  [HT8125-0145-0025] 自行对准接触窗开口/无边界接触窗开口的结构及形成方法
  [HT8125-0164-0026] 可避免产生扭曲效应的浅沟道隔离组件的制造方法
  [HT8125-0003-0027] 字节操作非易失性半导体存储装置
  [HT8125-0052-0028] 基板温度测定方法
  [HT8125-0135-0029] 用于混合信号RF应用和电路的集成电路结构
  [HT8125-0192-0030] 一种超辐射发光二极管的制作方法及其发光二极管
  [HT8125-0139-0031] 压电激励器
  [HT8125-0084-0032] 基于2,5-二氨基对苯二酸衍生物的有机场致发光器件
  [HT8125-0195-0033] 具有粘结层的发光二极管及其制造方法
  [HT8125-0073-0034] 使用半导体芯片的半导体装置
  [HT8125-0068-0035] 外延晶片及其制造方法
  [HT8125-0183-0036] 静电放电保护元件及其制造方法

  [HT8125-0108-0037] 侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯
  [HT8125-0179-0038] 设有触接垫的半导体装置
  [HT8125-0119-0039] 基片处理装置
  [HT8125-0137-0040] 由碳纳米管构成沟道的场效应晶体管
  [HT8125-0028-0041] 等离子体装置
  [HT8125-0138-0042] 用于形成触点的方法及封装的集成电路组件
  [HT8125-0186-0043] 自对准双位非易失性存储单元及其制造方法
  [HT8125-0159-0044] 多层线路的薄型集成电路制造方法
  [HT8125-0018-0045] 压电元件形成部件及其制造方法、压电致动器单元和液体喷射头
  [HT8125-0006-0046] 一种改善光电二极管线性特性的固体摄像装置及驱动方法
  [HT8125-0160-0047] 用以厘清漏电流发生原因的半导体测试结构
  [HT8125-0036-0048] 用于包括外延硅末端的超薄型氧化物上硅器件的方法及其制造的物件
  [HT8125-0132-0049] 具有降低的功率分配阻抗的互连模块
  [HT8125-0103-0050] CMOS制造中改进热载流子效应的工艺集成方法
  [HT8125-0088-0051] 一种防止旁瓣被刻蚀转移到衬底的方法
  [HT8125-0133-0052] 光及电可编程硅化多晶硅熔丝器件
  [HT8125-0207-0053] 非易失性半导体存储器
  [HT8125-0054-0054] 基于多层次等效电路模型的集成电路电源网络瞬态分析求解方法
  [HT8125-0142-0055] 图形形成方法
  [HT8125-0090-0056] 锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法

  [HT8125-0126-0057] 使用高K值电介质的改进硅化物工艺
  [HT8125-0010-0058] 具有防止等离子体损害的光子吸收层的半导体器件
  [HT8125-0206-0059] 成像系统以及采用倒易空间光学设计的方法
  [HT8125-0111-0060] 一种氧化锌同质结p-n结材料及其制备方法
  [HT8125-0117-0061] 快速热处理的快速环境转换系统和方法
  [HT8125-0040-0062] 一种用于扩散、氧化、外延工艺的清洗溶液
  [HT8125-0122-0063] 识别在掩模层上的虚拟特征的系统和方法
  [HT8125-0149-0064] 移除氮化硅层的方法
  [HT8125-0181-0065] 字符线交接点布局结构
  [HT8125-0131-0066] 带内插器的高性能、低成本微电子电路封装
  [HT8125-0051-0067] 晶片探测器
  [HT8125-0086-0068] 铜铟镓的硒或硫化物半导体薄膜材料的制备方法
  [HT8125-0089-0069] 一种硅半导体器件双级台阶结构的湿法化学腐蚀方法
  [HT8125-0081-0070] 发光二极管灯
  [HT8125-0104-0071] 电子芯片偏置风扇轴线式散热器
  [HT8125-0202-0072] 电磁场供给装置及等离子体处理装置
  [HT8125-0012-0073] 叠层型光电元件以及电流平衡调整方法
  [HT8125-0043-0074] 使用高电阻硅化物靶材生长硅化物的工艺
  [HT8125-0173-0075] 具有部分垂直信道的存储单元的主动区自对准制程
  [HT8125-0004-0076] 固体摄像器件及其制造方法

  [HT8125-0218-0077] 薄膜晶体管的制造方法
  [HT8125-0070-0078] 半导体器件及其制造方法和无线通信装置
  [HT8125-0085-0079] CdSe量子点的制备方法
  [HT8125-0098-0080] 一种减小孤立接触孔和密集接触孔之间尺寸差异的方法
  [HT8125-0062-0081] 一种镧锶银锰氧化物磁电阻材料及其制备方法
  [HT8125-0008-0082] 固态成像装置的制造方法
  [HT8125-0071-0083] 半导体器件及其制造方法、以及电镀液
  [HT8125-0041-0084] 通过预处理实现界面更加平滑的钴硅化物工艺
  [HT8125-0193-0085] 宽光谱带宽超辐射发光二极管的制作方法及其二极管
  [HT8125-0116-0086] 氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件的制造方法
[HT8125-0128-0087] 集束传输装置和传送控制方法
[HT8125-0211-0088] 表面可装配的光耦合器预装件
[HT8125-0114-0089] 发光闸流晶体管及自扫描型发光装置
[HT8125-0140-0090] 高分子半导体溶液
[HT8125-0190-0091] 有机发光二极管蒸镀机台
  [HT8125-0177-0092] 内建有平板式散热元件的功能模块
[HT8125-0101-0093] 在晶体管的有源区域分两次形成硅化物的工艺
[HT8125-0163-0094] 可减少角落凹陷的沟道式隔离组件的形成方法
[HT8125-0049-0095] 充气退火炉
[HT8125-0050-0096] 高频电磁辐射钎料微凸台重熔互连方法

[HT8125-0167-0097] 改进位元线和位元线接触短路的结构与方法
[HT8125-0199-0098] 四连杆晶片夹紧机构
[HT8125-0033-0099] 可升级的自对齐双浮动栅极存储单元阵列以及形成该阵列的方法
  [HT8125-0154-0100] 可改善组件特性的高压组件的制造方法
W [HT8125-0017-0101] GaN单晶衬底及其制造方法
W [HT8125-0151-0102] 位元线接触的充填方法
W [HT8125-0030-0103] 机械手
. [HT8125-0106-0104] 陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池
H [HT8125-0213-0105] 光子工程白炽发射器
O [HT8125-0105-0106] 导线布局结构
N [HT8125-0156-0107] 具有树脂封壳的元件及其制作方法
G [HT8125-0125-0108] 具有内嵌的沟槽肖特基整流器的沟槽DMOS晶体管
T [HT8125-0204-0109] 用带电粒子束微细加工铜的方法
U [HT8125-0134-0110] 带电容器的集成电路封装
1 [HT8125-0013-0111] 单室沉积非晶硅叠层太阳能电池及制造方法
6 [HT8125-0166-0112] 位元线的形成方法
3 [HT8125-0205-0113] 与半导体装置之射极接点形成接触点
. [HT8125-0016-0114] 具有荧光多层结构的发光二极管装置
C [HT8125-0214-0115] 可表面安装的辐射构件与其制造方法
O [HT8125-0047-0116] 薄膜半导体器件的制造方法

M [HT8125-0175-0117] 布线基板、有布线基板的半导体装置及其制造和安装方法
  [HT8125-0021-0118] 有机硅树脂和由其生产的多孔材料
[HT8125-0057-0119] 蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法
[HT8125-0061-0120] 高分子压电材料有序取向装置
[HT8125-0095-0121] 一种半导体器件集合
[HT8125-0194-0122] 发光二极管及其制造方法
[HT8125-0174-0123] 动态随机存取存储器的结构及其制作方法
0 [HT8125-0078-0124] 图像检测装置
7 [HT8125-0083-0125] 磁电变换元件及其制造方法
5 [HT8125-0001-0126] 存储器及其制造方法以及半导体装置的制造方法
5 [HT8125-0035-0127] 功能装置及其制造方法
| [HT8125-0113-0128] 以二次激光方式产生白光光源的方法及其白光发光组件
2 [HT8125-0150-0129] 蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法
8 [HT8125-0100-0130] 闪烁存储器控制栅堆积结构的侧壁形成工艺
5 [HT8125-0022-0131] 形成含有金属的材料和电容器电极的方法以及电容器结构
2 [HT8125-0215-0132] 非易失性可调电阻器件和可编程存储单元的制造
6 [HT8125-0216-0133] 高分子结构体及具有该结构体的功能元件、和晶体管及使用该晶体管的显示装置
1 [HT8125-0203-0134] 用于后端线互连结构的具有增强粘合力及低缺陷密度的低介电常数层间介电膜的制...
5 [HT8125-0019-0135] 制造OLED显示器的具有至少一个热转移工位的方法和系统
3 [HT8125-0168-0136] 镶嵌结构的位元线接触窗插塞的制作方法

  [HT8125-0189-0137] 有机发光二极管显示装置
  [HT8125-0015-0138] LED器件及使用其的便携式电话机、数码照相机和LCD装置
  [HT8125-0079-0139] 垂直金属氧化物半导体场效应二极管
  [HT8125-0185-0140] 互补式金氧半导体及其组合元件
  [HT8125-0182-0141] 具厚膜多晶硅的静电放电防护元件、电子装置及制造方法
  [HT8125-0044-0142] 利用氢化物气相外延制备GaMnN铁磁性薄膜的方法
  [HT8125-0208-0143] 位于透明基片上的彩色图像传感器及其制造方法
  [HT8125-0007-0144] 固体摄像装置及其制造方法
  [HT8125-0184-0145] 管线结构电力管理控制系统
  [HT8125-0076-0146] 强电介质膜的形成方法、强电介质存储器、强电介质存储器的制造方法、半导体装...
  [HT8125-0191-0147] 铝镓铟砷多量子阱超辐射发光二极管
  [HT8125-0109-0148] 无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池缓冲层薄膜的制备方法
  [HT8125-0096-0149] 可编程逻辑器件结构
  [HT8125-0034-0150] 摄像装置
  [HT8125-0187-0151] 具有抗凹蚀绝缘层的半导体结构及其制作方法
  [HT8125-0064-0152] 一种相变薄膜材料纳米线的制备方法
  [HT8125-0031-0153] 带有埋设电感器的无引线芯片承载器的制造结构和方法
  [HT8125-0171-0154] 集成电路制造中捕捉与使用设计企图的方法与装置
  [HT8125-0027-0155] 具有波形槽的化学机械抛光垫
  [HT8125-0069-0156] 低K技术中的铜通孔

  [HT8125-0201-0157] 恒定PH的抛光和擦洗
  [HT8125-0198-0158] 等离子腔室的腔室屏蔽
  [HT8125-0146-0159] 清洗孔洞材料的方法及其装置
  [HT8125-0147-0160] 等离子腐蚀反应器
  [HT8125-0059-0161] 功率型光发射二极管管芯元件及含管芯的照明光源
  [HT8125-0092-0162] 一种去除铜籽晶表面氧化膜及增强铜层黏附力的前处理工艺
  [HT8125-0129-0163] 形成用于衬底的凸起触点的方法
  [HT8125-0055-0164] 制备多晶硅的方法
  [HT8125-0120-0165] 用于半导体制造系统的加热器模块
  [HT8125-0046-0166] 半导体薄膜表面刻蚀设备
  [HT8125-0130-0167] 掺杂碳和硅的铜互连
  [HT8125-0209-0168] 具有变薄前挖空的接触孔的彩色图像传感器的制造方法
  [HT8125-0058-0169] 功率型半导体固体照明光源及其封装制备方法
  [HT8125-0197-0170] 搀杂的细长半导体,这类半导体的生长,包含这类半导体的器件以及这类器件的制...
  [HT8125-0180-0171] 由导线架建构的无管脚式半导体封装件及工序
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