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[HT8060-0149-0001] 用于校正显象管失会聚的磁铁装置 [摘要] 本发明会聚校正磁铁装置,包括调节多个校正磁铁位置使其接近或远离显象管电子束的装置,磁铁装置由4个双极磁铁组成,并安置成二个偏离的对,一对取横向,第2对取纵向;磁铁对可以横向和纵向地调节偏离电子束向中央电子束会聚。每个双极磁铁安置在带有一弹顶或弹性元件及一调节元件的余隙空间里,可在弹簧张力下个别地使每一磁铁接近或远离电子束来调节磁铁的强度。磁铁间的相互作用通过使磁铁相互隔离而减到最小程度。
[HT8060-0100-0002] 一种用于研究或改变在真空或保护气体中的样品表面的装置 [摘要] 本发明涉及一种用于研究放置在真空或在保护气体中的样品表面的装置。其结构包括一个主工作室,在该室中置有一个用于安装至少一个称为SXM部件的支承平板,该部件是借助于电或光导探针,利用对样品表面扫描来进行样品表面的显微检查,光谱分析或蚀刻。所述装置特征在于,支承平板能够从工作室中卸下,并且围绕中轴自行旋转,使得允许使用装在所述平板周边上的一套SXM部件。它应用于扫描隧道显微检查和/或光谱分析或利用光和/或电子微刻处理。
[HT8060-0204-0003] 高压老化装置 |